南通真空镀膜设备厂家常用指南

炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。真空镀膜设备根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

在元件方面，在真空中蒸发镍铬，铬或金属陶瓷可以制造电阻，在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等可以制造电容器，蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡可以制造磁致伸缩的起声元件等等。排除漏气隐患后才可以加热，否则扩散泵油会烧坏导致无法进入到工作状态。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层。

此外还可以对珠宝、钟表外壳表面、纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜，以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。

薄膜的多元化及服务的客制化

进入21世纪的PVD技术与1990年代相比，已发生了极大变化，从单一的TiN、TiCN、TiAlN发展到现在的数十种镀膜型态，针对不同的切削加工应用条件，可对薄膜成分、结构进行选择，透过适当的制备技术，以获取令人满意的切削效果。例如在齿轮加工中，除了对 zz覆膜刀具的使用寿命有严格要求外，如何保证齿轮的精度及表面质量同样至关重要，因此目前普遍采用的是复合膜层，即硬涂层 软涂层，当然对于不同的镀膜厂商而言，达成此目的的制程方法不尽相同；而在高速铣削加工中，往往只采用硬质涂层。若忽然变得很慢，请使用设备来捡漏，***部位主要在：坩埚下、热电偶下、旋转机械部上、泵接触部位等。