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真空室是真空设备的一个主要组成部位，真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性，结构必须要合理，真空设备的材料生产都是在真空室内进行的，镀膜设备厂商，材料对真空度的影响要小，设计不能马虎，要注意一些问题。

使用磁控溅射的真空镀膜设备一般采用的是圆筒主体结构，结构上要保证快速抽空，因气袋会缓慢的放气，因此要避免出现隔离孔穴，真空系统上端会加装磁控溅射枪，镀膜设备厂家，为了使真空室和元件有足够的强度，保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化，厚度需要足够。

真空镀膜设备是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。而设备在系统工作的时候难免会遇到一些问题，就比如说系统工作时温度过高，那么如果遇到这种情况想要解决问题，首先的步骤就是找出原因，到底是些什么原因呢？

1.缺油2.供油管线堵塞3.油泵出现问题4.油蒸汽压低于指标5.工作气体温度过高6.油泵中外来物堵塞7.抽气口与排气口错误连接8.环境温度达到或超过油蒸汽压。

在使用真空镀膜设备的时候经常会遇到这个问题，真空镀膜机抽速太慢太低了。那么面对这种情况有什么解决方法呢？应该如何提高它的抽速呢？

定期的给炉壁退镀表面膜层减少放气量。若真空蒸发镀膜机使用了非常长的时间，会发现抽真空变慢，镀膜设备，须更换机台防着板，超威镀膜设备，之后加温烘烤。若忽然变得很慢，请使用设备来捡漏，***部位主要在：坩埚下、热电偶下、旋转机械部上、泵接触部位等。

以上就是一些提高真空镀膜设备抽速的方法，做好这些，相信抽速就会快起来。