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定期清洁真空室并尽量抹干，每次都彻底洗干净，以免造成越来越难洗的现象。烘干后再镀膜，头一炉应比原来延长四倍时间才镀膜。

定期更换扩散泵油，更换真空泵及罗茨泵油。更换扩散泵油前一定要确认真空度是否低于1X102Pa，扩散泵里面的油温是否彻底冷却到常温状态后，方可进行加热或充大气进行拆卸，否则会产生伤害人的严重后果。

平时整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中。

经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封处加上真空脂。定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的元器件。

在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是：先将整个真空系统抽至真空状态，注意不要加热扩散泵，用手动打开精抽阀，然后按放气阀按钮让系统充入大气，当真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门。

停旋片泵、滑阀泵时，要注意电磁阀（或气动阀）是否向泵腔充气，否则会引起回油，污染真空管道。因此，电磁阀（或气动阀）充气动作失灵时，必须及时进行修理或更换。

真空与镀膜结合改变了以往的镀膜工艺，转变了镀膜技术，实现自动化镀膜功能，特别智能化，也便于维护，一个按键就能完成自动开关机生产，减少了人力资源成本。结合真空的特色镀膜设备不必担心产品镀膜过程受杂质影响问题，在完全真空条件下镀制均匀、致密、附着力强的膜层，使用多种技术满足不同产品镀膜要求。在真空镀膜技术还未出现的时候，用的是化学电镀技术，此种技术污染太大，科研学者一直希望研发能代替的镀膜技术。二十世纪七十年代，随着真空镀膜技术的横空出世，彻底颠覆化学电镀技术，此技术不仅解决污染问题，所能镀制的产品范围更广，它的特色之一是可以镀制很多化学电镀不能实现的镀膜。它的作用是可以使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。