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经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封处加上真空脂。定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的元器件。

在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是：先将整个真空系统抽至真空状态，注意不要加热扩散泵，用手动打开精抽阀，然后按放气阀按钮让系统充入大气，当真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门。

停旋片泵、滑阀泵时，要注意电磁阀（或气动阀）是否向泵腔充气，否则会引起回油，污染真空管道。因此，电磁阀（或气动阀）充气动作失灵时，必须及时进行修理或更换。

真空镀膜机中电磁控制的发展

对于真空镀膜机械来说，目前的电路的发展也十分迅速，很多电子化的产品也被运用到电路当中，也使得这些机械逐渐发展成为了电动化、自动化的设备。其中溅控溅射镀膜机就是比较好的一类代表，作为一种装置来说，它也是体现出真空镀膜技术***手段的代表，利用磁力进行控制，通电产生的电磁效用等都对镀膜技术进行辅助。当金属靶材撞向零件时由于能量转化，与反应气体化合生成氮化物或氧化物。

可以说是目前表面处理技术中***值得关注的一类，而电磁控制的镀膜机械的产生对现在的镀膜设备来说，提高了镀膜时候膜层的粒子量，这是这种镀膜机械的主要运用了。

真空电镀即真空蒸发镀膜﹐其原理是在高度真空条件下(1.3×10-2~1.3×10-1Pa)使金属铝片受热蒸发并附于(塑料)工件表面﹐形成一层金属膜的方法﹒真空镀膜设备真空电镀机真空电镀的特点:1、真空镀膜所获得的金属膜层很薄(一般为0.01~0.1um),能够严格***出啤件表面的形状2、工作电压不是很高(200V)﹐操作方便﹐但设备较昂贵﹒3、蒸镀锅瓶容积小﹐电镀件出数少﹐生产效率较低﹒